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阴极溅射

yīn jí jiàn shè

ㄧㄣ ㄐㄧˊ ㄐㄧㄢˋ ㄕㄜˋ

「阴极溅射」是什么意思?

更新 2026-07-10 14:15:17

扩展释义

当真空室内的真空度为13Pa时,在阴阳两电极之间加上一定的电压,气体就会发生自激放电,从阴极发射出的原子或原子团可沉积在阳极或真空室的壁上。这种溅射就称为阴极溅射。

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