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化学气相沉积

huà xué qì xiāng chén jī

ㄏㄨㄚˋ ㄒㄩㄝˊ ㄑㄧˋ ㄒㄧㄤ ㄔㄣˊ ㄐㄧ

「化学气相沉积」是什么意思？

更新 2026-07-16 06:47:06

扩展释义

化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。

拆字组词

化 学 气 相 沉 积

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