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衍射光学元件

yǎn shè guāng xué yuán jiàn

ㄧㄢˇ ㄕㄜˋ ㄍㄨㄤ ㄒㄩㄝˊ ㄩㄢˊ ㄐㄧㄢˋ

「衍射光学元件」是什么意思？

更新 2026-07-16 00:09:57

扩展释义

衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示)，主要用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。

拆字组词

衍 射 光 学 元 件

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