离子束外延

「离子束外延」是什么意思？

更新 2026-07-13 03:25:46

• 拼音字母li zi shu wai yan
• 首字母lzswy
• 注音符号ㄌㄧ ㄗ ㄕㄨ ㄨㄞ ㄧㄢ

扩展释义

离子束外延是在真空环境中，用含有外延生长所需元素的低能离子束在衬底上生长单晶薄层的工艺。

拆字组词

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