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涡轮分子泵

wō lún fēn zi bèng

ㄨㄛ ㄌㄨㄣˊ ㄈㄣ ㄗ˙ ㄅㄥˋ

「涡轮分子泵」是什么意思?

更新 2026-07-10 17:19:38

扩展释义

涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。

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